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UR-Z732M-B控制該壓力控制器前端的壓力。 horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z732MB 控制壓力范圍10-500KPa， 數(shù)字通訊 消除后端壓力變動對前端腔體壓力的影響（入口控制型）

UR-Z722M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z700中的暢銷款，控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar， 數(shù)字通訊 消除大流量氣路切換引起的串?dāng)_影響（出口控制型）

horiba IGS氣體質(zhì)量流量計Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通訊 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z552/Z562MGX 小量程0-100SLM，大量程0-500SLM 高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z522/Z532/Z542 小量程0-20sccm，大量程0-200SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.) 數(shù)字通訊：DeviceNet

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進(jìn)口Z514、Z524，保修期1年。

SEC-N122MG質(zhì)量流量控制器Horiba N100 特點(diǎn)：1、最小流量1sccm，最大流量1000SLM；2、最高精度0.3% ；3、不受壓力影響；3、可選多種數(shù)字通訊：RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。

Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-N172R/SEC-N176R特點(diǎn)： 通訊模式：數(shù)字式、模擬式； 滿量程范圍 ：0-300SLM , 可選0-500SLM，0-1000SLM； 模擬輸出、數(shù)字通訊二選一。