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horiba高精度氣體質(zhì)量流量計

  • 產(chǎn)品型號:SEC-Z514MGX/Z524MGX
  • 更新日期:2024-12-09

簡要描述:horiba高精度氣體質(zhì)量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX
小量程0-2sccm,大量程0-50SLM
高精度:1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.)
數(shù)字通訊:DeviceNet

產(chǎn)品詳情

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z514/SEC-Z524/SEC-Z534

暢銷型號:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212

氣體質(zhì)量流量計又稱氣體質(zhì)量流量控制器,簡稱MFC。

主要功能是:控制器管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值,同時反饋實際的流量信號到上位機(jī)。

大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z524是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中,國內(nèi)多回收、二次銷售,我公司提供進(jìn)口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等,保證全新進(jìn)口,終身維修。

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX產(chǎn)品特點:

1)多種氣體及多種流量范圍,可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量,現(xiàn)場設(shè)定;

2)超高精度:±1.0% S.P.(25-100% F.S.); ±0.25% F.S.(≤25% F.S.);

3)快速響應(yīng):<1秒(全量程范圍內(nèi),任意設(shè)置點);

4)非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作;

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,可以zui大限度地減少庫存;

6)與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;

7)可選其他數(shù)字通訊:DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號。

產(chǎn)品參數(shù):

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式
型號*1SEC-Z512、Z514SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXNSEC-Z522MGX
SEC-Z514MGXSEC-Z524MGXNSEC-Z524MGX
全標(biāo)準(zhǔn)流量1/2SCCM
10-50SLM
(N2轉(zhuǎn)換流量)10SCCM-10SLPM
閥門類型O:通常打開 C:通常關(guān)閉
關(guān)閉控制閥時的流量≤2% F.S.
流量測量范圍0-100% of F.S.
精確性*2±1.0%F.S.±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作溫度5-50°C(建議溫度范圍:15-45°C)
響應(yīng)≤1秒:超過全流量范圍
直線性≤±0.5% F.S.
反復(fù)性≤±0.2% F.S.
工作壓差值≤300kPa(d)
zui大工作壓力450kPa(g)
耐壓1000kPa(g)
外部泄漏率≤5x10-12 Pa·m3/s(He)
流量設(shè)定信號0.1 - 5 V DC (2% - F.S.);輸入阻抗1MΩ或更高
流量輸出信號0 -5 V DC (0% - F.S.);zui小負(fù)荷阻力2kΩ或更高
數(shù)字界面地址功能: RS-485(轉(zhuǎn)換速度38,400bps)
F-Net 協(xié)議,DevceNet
接液部材質(zhì)316L 不銹鋼(表面拋光)
電源+15V±5% 150mA
-15V±5% 150mA
信號反應(yīng)模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)
標(biāo)準(zhǔn)接頭*31/4 inch VCR1/4 inch VCR1.5 inch IGS
選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS可選1.125 inch IGS
安裝方向自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運用特殊軟件改變。

*2流量精度保證溫度符合SEMI E56-1296標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。

*3IGS:完整氣體系統(tǒng)。

*SCCM 和 SLM是表示氣體流量的記號。(mL/min,L/min,at 0°C和101.3 kPa)

訂購注意:

請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。

如是設(shè)備備件的更換,請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。

 
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