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horiba高精度氣體質量流量計

  • 產(chǎn)品型號:SEC-Z512MGX
  • 更新日期:2024-12-09

簡要描述:horiba高精度氣體質量流量計Z512

小量程0-2sccm,大量程0-50SLM
高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)
模擬信號輸出:0-5VDC,可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

產(chǎn)品詳情

Horiba SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX高精度質量流量計

暢銷型號:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

國內組裝數(shù)字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212

horiba高精度氣體質量流量計SEC-Z512MGX介紹:

氣體質量流量計又稱氣體質量流量控制器,簡稱MFC。

主要功能是:控制器管路中的流量達到期望的設定值,同時反饋實際的流量信號到上位機。

大流量Horiba氣體質量流量計SEC-Z512是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中,國內多回收、二次銷售,

我公司提供進口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等,保證全新進口,終身維修。

horiba高精度氣體質量流量計SEC-Z512MGX產(chǎn)品特點:

1)多種氣體及多種流量范圍,可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量,現(xiàn)場設定;

2)超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);

3)快速響應:<1秒(全量程范圍內,任意設置點);

4)非常方便的現(xiàn)場設置操作;

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器,可以zui大限度地減少庫存;

6)與現(xiàn)有模擬式質量流量控制器兼容;

7)可選其他數(shù)字通訊:DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號。

產(chǎn)品參數(shù):

型號*1SEC-Z512、Z514SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXNSEC-Z522MGX
SEC-Z514MGXSEC-Z524MGXNSEC-Z524MGX
全標準流量1/2SCCM
10-50SLM
(N2 轉換流量)10SCCM-10SLPM
閥門類型O: 通常打開 C: 通常關閉
關閉控制閥時的流量≤ 2% F.S.
流量測量范圍0-100% of F.S.
精確性*2±1.0%F.S.±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作溫度5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)
響應≤ 1 秒:超過全流量范圍
直線性≤ ±0.5% F.S.
反復性≤ ±0.2% F.S.
工作壓差值≤ 300 kPa (d)
zui大工作壓力450 kPa (g)
耐壓1000 kPa (g)
外部泄漏率≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
流量設定信號0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高
流量輸出信號0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負荷阻力 2 kΩ 或更高
數(shù)字界面地址功能: RS-485 (轉換速度 38,400 bps)
F-Net 協(xié)議,DevceNet
接液部材質316L 不銹鋼(表面拋光)
電源+15V±5% 150mA
-15V±5% 150mA
信號反應模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)
標準接頭*31/4 inch VCR1/4 inch VCR1.5 inch IGS
選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS可選1.125 inch IGS
安裝方向自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變。

*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標準。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。

*3IGS: 完整氣體系統(tǒng)

*SCCM 和 SLM 是表示氣體流量的記號。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)

訂購注意:

請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質名稱、氣體量程、接口尺寸。

如是設備備件的更換,請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側面圖片、頂部圖片。

 
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